Microtransfer molding using metallic stamps

Abstract

This paper describes the fabrication of patterned polymeric microstructures by a transfer molding method. We use alkanethiolate-modified metallic molds that allow pattern transfer with 100 nm resolution. Rigid metallic molds avoid the typical pattern deformations observed when elastomeric molds are employed. The alkanethiolate layer changes the adherence properties of molds enabling an easy release, even for high adherent polymeric materials.

El presente trabajo describe la fabricación de microestructuras polimérica regulares mediante un método de moldeo de relieves superficiales. Utilizamos moldes metálicos modificados con monocapas autoensambladas de alcanotiolatos que permiten transferir patrones regulares con resolución por debajo de los 100 nm. Los moldes metálicos rígidos permiten evitar las típicas deformaciones observadas cuando se utilizan moldes elastoméricos. La película de alcanotiolato cambia las propiedades de adherencia de los moldes posibilitando un fácil despegue, aún para materiales poliméricos altamente adherentes.