Las aleaciones de base NiTi con memoria de forma son conocidas por sus excelentes propiedades funcionales y de biocompatibilidad. Para su implementación en microactuadores, la utilización de láminas delgadas mejora notablemente su velocidad de respuesta, al ser más fácil la transferencia de calor, debido a la mejora en la relación superficie/volumen. La memoria de forma en estas aleaciones es producida por una transformación martensítica entre una fase austenítica B2 a una fase martensítica monoclínica B19'. La adición de Co permite el descenso controlado de las temperaturas de transformación y promueve la aparición de una fase martensítica intermedia trigonal R. La inclusión de este elemento en la aleación aumenta tanto el límite de fluencia como la rigidez y posee similares propiedades de biocompatibilidad.
En este trabajo, se fabricaron láminas de NiTiCo de 9,1 µm de espesor mediante la técnica de co-sputtering usando en simultáneo blancos de Ti, Ni y Ti con incrustaciones de Co. La composición resultante fue determinada por EDS-SEM usando patrones puros de estos elementos, y la misma resultó ser de Ni₄₆‚₂Ti₅₁‚₁CO₂,₇ (% at.). Las láminas fueron tratadas térmicamente a 500ºC, 600ºC y 700ºC durante 1 hora para cristalizarlas obteniendo distintas microestructuras. Las muestras se caracterizaron además por XRD y TEM.