Etapa de control y sensado del policromador MEMS

Abstract

En el marco del proyecto de Microsistemas Colaborativos que se desarrolla en la UIDET – CeTAD, se propone el diseño, análisis y ensayo de distintos módulos MEMS, en particular su control, actuación y análisis con dispositivos de microelectrónica en tecnología CMOS. Dentro de los Microsistemas en desarrollo se destaca una aplicación para la detección de gases, mediante el diseño de un policromador MEMS, la etapa de control del mismo y un análisis para la solución de la detección a través de un diseño de sensor de imagen CMOS. Estos dos últimos son descriptos en el presente trabajo.